В.В.Крапухин | И.А.Соколов | Г.Д.Кузнецов <br/><br/>
Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов 

 - Москва  Металлургия  1982 
 - 352  В5 
<br/><br/> 0 
<br/><br/> Термодинамика фазовых равновесий Термодинамика необратимых процессов Массо- и теплообмен в неподвижной среде Конвективный тепло- n массообмен. Кинетика гетерогенных процессов 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов Физико хими Физик-хими В.В.Крапухин И.А.Соколов Г.Д.Кузнецов 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621  / К-78