TY  - BOOK
AU  - В.В.Крапухин | И.А.Соколов | Г.Д.Кузнецов
AU  - 0
TI  - Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов
U1  - 621 21
PY  - 1982///
CY  - Москва
PB  - Металлургия
KW  - Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов Физико хими Физик-хими В.В.Крапухин И.А.Соколов Г.Д.Кузнецов
N1  - 0; Термодинамика фазовых равновесий Термодинамика необратимых процессов Массо- и теплообмен в неподвижной среде Конвективный тепло- n массообмен. Кинетика гетерогенных процессов
ER  -